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锆英砂-ai2o3体系的高温熔盐相平衡规律及颗粒分级技术的研究
发表日期:2020/3/20       点击:383
1.锆英砂-ai2o3体系的高温熔盐相平衡规律及颗粒分级技术的研究
锆英砂-A1203体系的髙温熔盐相平衡的测定,利用XRD技术研究平衡物种的组成,确定形成高 性能的ZrSi04-a-A1203磨料的条件;研究超细粉碎与控制分级技术,确定得到粒度分布均匀、分散 性良好且具有一定规律棱角的研磨料的工艺条件;开发出一种天然资源的高价值利用的途径,利用天 然的锆英砂生产高附加值的电子器件研磨料。
2.复合纳米颗粒的制备与稳定分散技术
研究内容包括:通过纳米Si02-Al203、Si02-Ce02、A1203-〇〇2的控制生长基础研究,确定球状纳 米复合颗粒的形成条件,以及Na+的脱除工艺条件;研究纳米复合粉体的表面化学性质和溶液化学性 质;研究复合颗粒体系的悬浮液在不同离子强度、pH值及溶液性质条件下的颗粒表面电荷变化规律; 研究浆料体系的动力性质、电学性质以及浆料聚沉作用机理和聚沉动力学,确定抛光液的稳定化工艺 条件。在Si02系、Si02-Al203系、Si()2-Ce02系纳米粗抛和精抛液理论的基础上,开发具有国际先进水 平的多种用途的CMP抛光浆料产品。
3.分子模拟技术研究抛光液的配方
以计算化学为基础,利用ceriUS2. 0和gaussian %等软件在SGI工作站上进行模拟抛光液中各组分 和硅晶圆表面的相互作用,指导抛光液配方的设计。
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